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產(chǎn)品資訊

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氮化硅粉體燒結(jié)爐

產(chǎn)品介紹

高端氮化硅粉體燒結(jié)爐具有H₂安全保護(hù)、防竄氣技術(shù) 、多段溫度曲線設(shè)定，多種氣體流量自動(dòng)精準(zhǔn)控制（無需人工調(diào)節(jié)）、脈沖式充氣、氣體循環(huán)控溫、發(fā)熱體衰減檢測、發(fā)熱體漏電監(jiān)測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產(chǎn)。

產(chǎn)品參數(shù)

裝料空間（WHL）	5005001800
最高溫度	1600℃
最高工作壓力	0.9bar
極限真空度	0.5pa
真空泄漏率	≤5×10^-3 mbarl/s
真空泵組	旋片泵+羅茨泵
升溫速率 (滿載、≥1500℃）	≥8℃/min
溫度均勻性	≤±4℃
具備功能	真空燒結(jié)、靜態(tài)燒結(jié)、氣氛燒結(jié)、急速冷卻
工藝氣體種類	H₂ N₂ Ar

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